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Sensitivity to NO2 and cross-sensitivity analysis to NH3, ethanol and humidity of carbon nanotubes thin film prepared by PECVD
PECVD制备碳纳米管薄膜对NO2的敏感性及对NH3、乙醇和湿度的交叉敏感性分析
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
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期刊:Sensors and Actuators B Chemical 作者:C. Cantalini; Luca Valentini; I. Armentano; L. Lozzi; J. M. Kenny; et al 出版日期:2003-07-16 |
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