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Ion assisted deposition of moisture stable hafnium oxide thin-films
离子辅助沉积湿稳定氧化铪薄膜
相关领域
水分
铪
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其它 |
期刊:Optical Interference Coatings 作者:Dale E. Morton; Denton Vacuum; Traci R. Jensen 出版日期:2001-01-01 |
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