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标题
Diffusion maps based k-nearest-neighbor rule technique for semiconductor manufacturing process fault detection
基于扩散图的k近邻规则半导体制造过程故障检测技术
相关领域
k-最近邻算法 非线性降维 降维 半导体器件制造 故障检测与隔离 稳健性(进化) 计算机科学 维数之咒 模式识别(心理学) 人工智能 非线性系统 数据挖掘 材料科学 物理 化学 纳米技术 生物化学 执行机构 基因 量子力学 薄脆饼
网址
DOI
10.1016/j.chemolab.2014.05.003 doi
其它 期刊:Chemometrics and Intelligent Laboratory Systems
作者:Yuan Li; Xinmin Zhang
出版日期:2014-05-14
求助人
yang 在 2024-11-26 09:56:29 发布自浙江,悬赏 10 积分
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