标题 |
Diffusion maps based k-nearest-neighbor rule technique for semiconductor manufacturing process fault detection
基于扩散图的k近邻规则半导体制造过程故障检测技术
相关领域
k-最近邻算法
非线性降维
降维
半导体器件制造
故障检测与隔离
稳健性(进化)
计算机科学
维数之咒
模式识别(心理学)
人工智能
非线性系统
数据挖掘
材料科学
物理
化学
纳米技术
生物化学
执行机构
基因
量子力学
薄脆饼
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期刊:Chemometrics and Intelligent Laboratory Systems 作者:Yuan Li; Xinmin Zhang 出版日期:2014-05-14 |
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