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标题
pFed-Litho: Lithography Modeling With a Personalized Federated Learning Based Framework
pFed-Litho：基于个性化联合学习框架的光刻建模
相关领域
平版印刷术 计算机科学 纳米技术 材料科学 光电子学
网址
https://doi.org/10.1109/tcad.2024.3513264
DOI
10.1109/tcad.2024.3513264 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems
作者：Qing Zhang; Yuhang Zhang; Rui Chen; Wei Lu; Huajie Huang; et al
出版日期：2024-01-01
求助人
勤劳怜寒 在 2024-12-13 10:35:51 发布自北京，悬赏 10 积分
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