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Nanocasting synthesis of mesoporous CeO2 particle abrasives from mesoporous SiO2 hard templates for enhanced chemical mechanical polishing performance
介孔SiO2硬模板纳米铸造合成介孔CeO2颗粒磨料以提高化学机械抛光性能
相关领域
材料科学
介孔材料
模板
抛光
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粒子(生态学)
化学机械平面化
介孔有机硅
化学工程
介孔二氧化硅
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化学
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期刊:Ceramics International 作者:Yang Chen; Yifan Xia; Chao Wang; Jie Pan; Tianyu Wang; et al 出版日期:2024-10-01 |
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