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Effects of sputtering pressure and oxygen partial pressure on amorphous Ga2O3 film-based solar-blind ultraviolet photodetectors
溅射压力和氧分压对非晶Ga2O3薄膜太阳光盲紫外光探测器的影响
相关领域
响应度 光电探测器 光探测 溅射 材料科学 光电子学 紫外线 无定形固体 分压 量子效率 溅射沉积 氧气 薄膜 光学 纳米技术 化学 物理 有机化学
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.154606 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Keyun Gu; Zilong Zhang; Ke Tang; Jian Huang; Meiyong Liao; Linjun Wang
出版日期：2022-09-08
求助人
estk 在 2025-01-10 09:08:43 发布自河北，悬赏 10 积分
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