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Inverted pyramid structure on monocrystalline silicon processed by wet etching after femtosecond laser machining in air and deionized water
飞秒激光在空气和去离子水中湿法刻蚀单晶硅的倒金字塔结构
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期刊:Optics and Laser Technology 作者:Qingwei Wang; Peng Yao; Yueming Li; Jiang Long; Jimiao Xu; et al 出版日期:2022-09-08 |
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