Microfabrication of functional polyimide films and microstructures for flexible MEMS applications

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标题	Microfabrication of functional polyimide films and microstructures for flexible MEMS applications 柔性MEMS应用中功能聚酰亚胺薄膜和微结构的微加工相关领域聚酰亚胺微加工材料科学微电子机械系统制作纳米技术微技术微观结构光电子学复合材料图层（电子）医学替代医学病理
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-023-00503-5.pdf
DOI	10.1038/s41378-023-00503-5 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Zihao Dong; Qipei He; Dawei Shen; Zheng Gong; Deyuan Zhang; et al 出版日期：2023-03-21
求助人	风中的静珊在 2024-10-31 19:28:31 发布自中国，悬赏 10 积分
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