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标题
Microfabrication of functional polyimide films and microstructures for flexible MEMS applications
柔性MEMS应用中功能聚酰亚胺薄膜和微结构的微加工
相关领域
聚酰亚胺 微加工 材料科学 微电子机械系统 制作 纳米技术 微技术 微观结构 光电子学 复合材料 图层（电子） 医学 替代医学 病理
网址
https://www.nature.com/articles/s41378-023-00503-5.pdf
DOI
10.1038/s41378-023-00503-5 doi
其它 期刊：Microsystems & Nanoengineering
作者：Zihao Dong; Qipei He; Dawei Shen; Zheng Gong; Deyuan Zhang; et al
出版日期：2023-03-21
求助人
风中的静珊 在 2024-10-31 19:28:31 发布自中国，悬赏 10 积分
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