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 Performance and Reliability Enhancement of Flexible Low-Temperature Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors via Activation-Annealing Temperature Optimization 优化活化退火温度提高柔性低温多晶硅薄膜晶体管的性能和可靠性
相关领域
材料科学
掺杂剂活化
薄膜晶体管
光电子学
退火（玻璃）
制作
悬空债券
多晶硅
电介质
硅
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电子工程
纳米技术
复合材料
兴奋剂
图层（电子）
病理
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医学
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期刊：Thin Solid Films 作者：Youngrok Kim; Dongbhin Kim; Jinha Ryu; Jaewoo Shin; Sae-Mi Lee; et al 出版日期：2023-09-01 |
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