标题 |
Top-down fabrication of Si nanotube arrays using nanoimprint lithography and spacer patterning for electronic and optoelectronic applications
用于电子和光电子应用的使用纳米压印光刻和间隔物图案化的自上而下制造硅纳米管阵列
相关领域
纳米压印光刻
制作
材料科学
纳米技术
平版印刷术
光电子学
电子束光刻
抵抗
医学
替代医学
病理
图层(电子)
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DOI | |
其它 |
期刊:Materials Today Nano 作者:Yong-Lie Sun; Wipakorn Jevasuwan; Naoki Fukata 出版日期:2024-11-01 |
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