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Nanopowders synthesis at industrial-scale production using the inductively-coupled plasma technology
利用电感耦合等离子体技术在工业规模生产中合成纳米粉末
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可靠性(半导体)
工艺工程
等离子体处理
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作者:Richard Dolbec; Maher I. Boulos; Eric D.J. Bouchard; N. Kuppuswamy 出版日期:2013-07-01 |
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