Silicon-Containing Spin-on Underlayer Material for Step and Flash Nanoimprint Lithography

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标题	Silicon-Containing Spin-on Underlayer Material for Step and Flash Nanoimprint Lithography 用于阶梯和闪光纳米压印光刻的含硅旋涂底层材料相关领域抵抗纳米压印光刻材料科学平版印刷术硅纳米技术化学机械平面化多重图案光刻胶纳米光刻光电子学纳米复合材料制作图层（电子）医学替代医学病理
网址	http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.49.075201
DOI	10.1143/JJAP.49.075201 doi
求助人	研友_ngkEgn 在 2024-10-21 10:11:59 发布自江苏，悬赏 10 积分
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