Subsurface damage evolution of β-Ga2O3 (010) substrates during lapping and chemical mechanical polishing

已完结

文献求助详情

标题	Subsurface damage evolution of β-Ga2O3 (010) substrates during lapping and chemical mechanical polishing β-Ga2O3（010）衬底在研磨和化学机械抛光过程中的亚表面损伤演化相关领域研磨抛光材料科学化学机械平面化复合材料
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2024.104655
DOI	10.1016/j.surfin.2024.104655 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Tong Hou; Xu Ma; Yue Dong; Pei Wang; Yang Li; et al 出版日期：2024-06-19
求助人	迷失的悠悠在 2024-10-26 22:59:15 发布自天津，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 李健的小迷弟上传了应助文件

2秒前; 还单身的绝山完成签到，获得积分10

2秒前; 帮帮我好吗发布了新的文献求助10

8秒前; 桐桐上传了应助文件

11秒前; Singularity完成签到，获得积分0

14秒前; DQ1175完成签到，获得积分10

14秒前; 王治豪发布了新的文献求助10

15秒前; 小二郎的应助被帮帮我好吗采纳，获得10

42秒前; vbnn完成签到，获得积分10

1分钟前; lovexa完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; arsenal完成签到，获得积分10

1分钟前; 研友_VZG7GZ的应助被Jenny采纳，获得10

1分钟前; 星辰大海的应助被帮帮我好吗采纳，获得10

1分钟前; vsvsgo完成签到，获得积分10

1分钟前; 小二郎上传了应助文件

2分钟前; 星辰大海的应助被帮帮我好吗采纳，获得10

2分钟前; 爱静静的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; lyj完成签到，获得积分10

3分钟前; 充电宝的应助被白华苍松采纳，获得10

3分钟前; 房天川完成签到，获得积分10

3分钟前; 星辰大海上传了应助文件

3分钟前; 简单的笑蓝完成签到，获得积分10

4分钟前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

4分钟前; Jenny发布了新的文献求助10

5分钟前; 帮帮我好吗发布了新的文献求助10

5分钟前; 星辰大海上传了应助文件

5分钟前; 帮帮我好吗发布了新的文献求助10

5分钟前; 帮帮我好吗发布了新的文献求助10

5分钟前; 帮帮我好吗发布了新的文献求助10

6分钟前; YifanWang完成签到，获得积分10

6分钟前; creep2020完成签到，获得积分10

6分钟前; 红茸茸羊完成签到，获得积分10

6分钟前; Orange上传了应助文件

7分钟前; factor发布了新的文献求助10

7分钟前; 科研通AI2S的应助被帮帮我好吗采纳，获得10

7分钟前; xfy完成签到，获得积分10

7分钟前; 希望天下0贩的0的应助被factor采纳，获得10

7分钟前; 科研通AI2S的应助被帮帮我好吗采纳，获得10

7分钟前; 充电宝上传了应助文件

7分钟前