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 Effect of High Energy Implantation on the Photoresist for Smaller Size CMOS Image Sensor 高能注入对小尺寸CMOS图像传感器光刻胶的影响
相关领域
光刻胶
离子注入
材料科学
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期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Hui Chen; Xiaoyü Li; Zhengying Wei; Chang Sun; Jiong Xu; et al 出版日期：2022-06-20 |
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