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Influence of power on the physical and electrical properties of magnetron sputtered gadolinium oxide thin films for MOS capacitors
功率对MOS电容器用磁控溅射氧化钆薄膜物理和电学性能的影响
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网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2020.105408
DOI
10.1016/j.mssp.2020.105408 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：G. Arun Kumar Thilipan; Ashwath Rao
出版日期：2020-09-03
求助人
丘比特 在 2025-04-02 08:15:29 发布，悬赏 10 积分
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