Precession Electron Diffraction (PED) Strain Characterization in Stacked Nanosheet FET Structure

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标题	Precession Electron Diffraction (PED) Strain Characterization in Stacked Nanosheet FET Structure 堆叠纳米片场效应晶体管结构中的进动电子衍射（PED）应变表征相关领域材料科学纳米片光电子学 CMOS芯片电子迁移率晶体管硅锗 NMOS逻辑硅应变硅场效应晶体管 MOSFET 逻辑门电子工程电气工程纳米技术工程类晶体硅非晶硅电压
网址	https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2022p0074
DOI	10.31399/asm.cp.istfa2022p0074 doi
其它	期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者：J. Li; S. Mochizuki; E. Stuckert; L. Tierney; K. Toole; et al 出版日期：2022-10-26
求助人	美好斓在 2025-03-17 14:57:44 发布自河南，悬赏 10 积分
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