Interplay between solution chemistry and mechanical activation in friction-induced material removal of silicon surface in aqueous solution

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标题	Interplay between solution chemistry and mechanical activation in friction-induced material removal of silicon surface in aqueous solution 水溶液中硅表面摩擦材料去除中溶液化学和机械活化的相互作用相关领域蚀刻（微加工）水溶液纳米制造各向同性腐蚀抛光硅材料科学机械化学基质（水族馆）化学工程产量（工程）化学反应化学机械平面化化学纳米技术复合材料物理化学冶金有机化学海洋学图层（电子）地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.triboint.2020.106319
DOI	10.1016/j.triboint.2020.106319 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Chen Xiao; Changbang Deng; Peng Zhang; Linmao Qian; Seong H. Kim 出版日期：2020-03-23
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