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 Micro-nanostructuring by optical-lithography and nitriding of photo-patternable ZrO2 sol-gel to obtain micro-nanostructured ZrN 通过光学光刻和氮化可光图案化ZrO2溶胶-凝胶进行微纳米结构化以获得微纳米结构ZrN
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期刊： 作者：Victor Vallejo Otero; Nicolas Crespo‐Monteiro; Arnaud Valour; Christophe Donnet; Stéphanie Reynaud; et al 出版日期：2024-06-17 |
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