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标题
Residual stress assessment of interconnects by slot milling with FIB and geometric phase analysis
基于FIB和几何相位分析的开槽互连残余应力评估
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网址
https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2009.12.006
DOI
10.1016/j.optlaseng.2009.12.006 doi
其它 期刊：Optics and Lasers in Engineering
作者：Qinghua Wang; Huimin Xie; Zhanwei Liu; Xinhao Lou; Jianfeng Wang; et al
出版日期：2010-01-19
求助人
ddj 在 2025-03-12 21:32:30 发布自四川，悬赏 10 积分
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