基于硅的MEMS六自由度力-扭矩传感器开发经验

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标题	基于硅的MEMS六自由度力-扭矩传感器开发经验相关领域微电子机械系统扭矩硅机械工程材料科学计算机科学工程类物理光电子学热力学
网址	http://dx.doi.org/10.1007/978-1-4419-9985-6_1
DOI	10.1007/978-1-4419-9985-6_1 doi
求助人	傻傻的寄翠在 2025-12-20 11:05:25 发布自山西，悬赏 10 积分
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