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 Research progress on ultra-precision measurement technology based on line chromatic confocal sensors at micro-nano scale 基于线色共焦传感器的微纳尺度超精密测量技术研究进展
相关领域
色阶
比例（比率）
共焦
计算机科学
纳米-
材料科学
光学
物理
量子力学
复合材料
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期刊： 作者：Xiaowei Guo; Haotian Guo; Xiangjun Xu; Hao Chen; Lei Yao; et al 出版日期：2024-10-14 |
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