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 Characterization of tunnel oxide passivated contact fabricated by sputtering and ion implantation technique 溅射——离子注入技术制备隧道氧化物钝化触头的表征
相关领域
材料科学
钝化
离子注入
多晶硅
制作
溅射
硅
兴奋剂
光电子学
接触电阻
氧化物
太阳能电池
微晶
分析化学（期刊）
离子
纳米技术
薄膜
化学
冶金
图层（电子）
医学
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有机化学
病理
色谱法
薄膜晶体管
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Noboru Yamaguchi; Shasha Li; Shinsuke Miyajima 出版日期：2023-04-27 |
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