Study on Site-specific Polishing of Polycrystalline Diamond Film by KrF Excimer Laser

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标题	Study on Site-specific Polishing of Polycrystalline Diamond Film by KrF Excimer Laser KrF准分子激光定点抛光多晶金刚石薄膜的研究相关领域材料科学抛光准分子激光器钻石聚晶金刚石准分子微晶激光器光电子学光学复合材料冶金物理
网址	http://www.jlps.gr.jp/jlmn/upload/ee1434faf7174247c48c99eda8...
DOI	10.2961/jlmn.2017.02.0002 doi
其它	期刊：Journal of Laser Micro/Nanoengineering 作者：Lanxi Wang 出版日期：2017-09-01
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