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[高分] Nano-Nucleation Characteristic of Cu–Ag Alloy Directly Electrodeposited on W Diffusion Barrier for Microelectronic Device Interconnect
微电子器件互连用W扩散势垒直接电沉积Cu-Ag合金的纳米形核特性
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期刊:Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者:Kang O Kim; Sunjung Kim 出版日期:2016-04-26 |
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