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 Aluminum nitride assisted silicon thermo-optic phase shifter 氮化铝辅助硅热光移相器
相关领域
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硅
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期刊：Journal of Lightwave Technology 作者：Weixiong Huang; Lipeng Xia; Ting Li; Jiawei Li; Tao Wu; et al 出版日期：2024-01-01 |
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