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  Biocompatible Co-organic Composite Thin Film Deposited by VHF Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition at a Low Temperature 低温VHF等离子体增强原子层沉积制备生物相容性共有机复合薄膜
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期刊：ACS Omega 作者：Won Kyun Yeom; Jin Woong Lee; Jina Bae; Dain Sung; Taeyeop Kim; et al 出版日期：2024-07-23 |
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