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标题
Anisotropic etching of graphite and graphene in a remote hydrogen plasma
远程氢等离子体中石墨和石墨烯的各向异性刻蚀
相关领域
石墨烯 材料科学 蚀刻（微加工） 石墨 反应离子刻蚀 等离子体刻蚀 等离子体 氮化硼 氢 双层石墨烯 各向异性 纳米技术 复合材料 图层（电子） 分析化学（期刊） 光学 化学 有机化学 物理 量子力学
网址
https://www.nature.com/articles/s41699-017-0021-7.pdf
AI链接 nature.com nature.com arxiv.org arxiv.org doaj.org datacite.orgdoi.org
DOI
10.1038/s41699-017-0021-7 doi
其它 期刊：npj 2D Materials and Applications
作者：Dorothée Hug; Simon Zihlmann; Mirko K. Rehmann; Y. B. Kalyoncu; Timothy N. Camenzind; et al
出版日期：2017-06-28
求助人
与枫 在 2024-12-26 15:36:42 发布自四川，悬赏 10 积分
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