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标题
Effect of post-deposition annealing on crystal structure of RF magnetron sputtered germanium dioxide thin films
沉积后退火对射频磁控溅射二氧化锗薄膜晶体结构的影响
相关领域
材料科学 退火（玻璃） 锗 溅射沉积 薄膜 腔磁控管 光电子学 晶体结构 冶金 溅射 结晶学 化学 纳米技术 硅
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003960
DOI
10.1116/6.0003960 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Ahmad Matar Abed; Rebecca L. Peterson
出版日期：2024-10-11
求助人
西河 在 2025-01-14 14:38:22 发布自湖南，悬赏 20 积分
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