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 A miniature piezoelectric actuator with fast movement and nanometer resolution 一种具有快速运动和纳米分辨率的微型压电驱动器
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| 其它 |
期刊：International Journal of Mechanical Sciences 作者：Weitao Wei; Zhaochun Ding; Jiang Wu; Lipeng Wang; Chen Yang; et al 出版日期：2024-07-01 |
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