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 FABRICATION OF ACTIVE THIN FILMS FOR VIBRATION DAMPING IN MEMS DEVICES FOR THE NEXT GENERATION ARMY MUNITION SYSTEMS 用于下一代军火系统MEMS器件的有源阻尼薄膜的制备
相关领域
微电子机械系统
制作
振动
材料科学
弹药
工程类
计算机科学
光电子学
机械工程
声学
物理
医学
替代医学
病理
冶金
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期刊： 作者：E. Ngo; W. D. Northwang; M. W. Cole; C. Hubbard; G. Hirsch; et al 出版日期：2006-11-01 |
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