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 Study on the effect of nonionic surfactant in copper CMP slurry 非离子表面活性剂对铜CMP浆料影响的研究
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| 其它 | Huo, Feng Wei, Zhu Ji **, and Ran Zhang. "Study on the effect of nonionic surfactant in copper CMP slurry." Advanced Materials Research 135 (2010): 30-35. |
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