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 Effects of ozone as an oxygen source on the properties of the Al2O3 thin films prepared by atomic layer deposition 臭氧作为氧源对原子层沉积Al2O3薄膜性能的影响
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期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Jaebum Kim; Kuntal Chakrabarti; Jinho Lee; Ki‐Young Oh; Chongmu Lee 出版日期：2002-12-03 |
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