Structural, electrical, and thermal characterization of homoepitaxial close-injection showerhead metalorganic chemical vapor deposition β-Ga2O3 enhancement-mode recessed-gate MOSFETs

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标题	Structural, electrical, and thermal characterization of homoepitaxial close-injection showerhead metalorganic chemical vapor deposition β-Ga2O3 enhancement-mode recessed-gate MOSFETs 同质外延封闭注入喷头金属有机化学气相沉积β-Ga2O3增强型凹栅MOSFET的结构、电学和热学表征相关领域化学气相沉积光电子学材料科学热的表征（材料科学）沉积（地质）纳米技术物理古生物学沉积物气象学生物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004176
DOI	10.1116/6.0004176 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Hannah N. Masten; Gustavo A. Alvarez; Corey Halverson; Joyce Christiansen‐Salameh; Eugene Kwon; et al 出版日期：2025-02-28
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