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 Anisotropic etching rates of single-crystal silicon for TMAH water solution as a function of crystallographic orientation 单晶硅对TMAH水溶液的各向异性刻蚀速率与晶体取向的关系
相关领域
蚀刻（微加工）
硅
氢氧化铵
材料科学
各向异性
结晶学
单晶
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分析化学（期刊）
化学
矿物学
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冶金
光学
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物理
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图层（电子）
计算机科学
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| DOI |
10.1016/s0924-4247(98)00271-4
doi
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Kazuo Sato; Mitsuhiro Shikida; Takashi Yamashiro; Kazuo Asaumi; Yasuroh Iriye; et al 出版日期：1999-03-01 |
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