Heat transfer analysis on wafer annealing process in semiconductor multi-wafer furnace using CFD simulation

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标题	Heat transfer analysis on wafer annealing process in semiconductor multi-wafer furnace using CFD simulation 基于CFD的半导体多晶圆炉退火过程传热分析相关领域页眉薄脆饼传热材料科学机械工程退火（玻璃）热的光电子学机械工程类冶金计算机科学热力学计算机网络物理
网址	https://doi.org/10.1007/s12206-022-0545-4
DOI	10.1007/s12206-022-0545-4 doi
其它	期刊：Journal of mechanical science and technology 作者：Siew Aun Tan; Kok Hwa Yu; M. Z. Abdullah 出版日期：2022-05-28
求助人	荀天德在 2024-07-01 14:56:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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