EXPRESS: Nondispersive Ultraviolet–Visible Gas Analyzer for Monitoring Molybdenum Chloride and Oxychloride Precursors During Vapor Deposition Processes

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标题	EXPRESS: Nondispersive Ultraviolet–Visible Gas Analyzer for Monitoring Molybdenum Chloride and Oxychloride Precursors During Vapor Deposition Processes EXPRESS：用于监测气相沉积过程中氯化钼和氯氧前体的非分散紫外-可见气体分析仪相关领域紫外线钼化学气相沉积气体分析仪频谱分析仪化学沉积（地质）氯化物紫外可见光谱无机化学材料科学分析化学（期刊）光学光电子学环境化学有机化学物理古生物学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1177/00037028241268260
DOI	10.1177/00037028241268260 doi
其它	期刊：Applied Spectroscopy 作者：James E. Maslar; Berç Kalanyan 出版日期：2024-08-01
求助人	kalisu24 在 2024-11-13 01:10:37 发布自天津，悬赏 10 积分
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