A Wireless Thin Contact Stress Sensor Based on Surface Acoustic Wave Resonator in ZnO/Si Structure

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标题	A Wireless Thin Contact Stress Sensor Based on Surface Acoustic Wave Resonator in ZnO/Si Structure 基于ZnO/Si结构声表面波谐振器的无线薄接触应力传感器相关领域材料科学声表面波介电常数压力（语言学）灵敏度（控制系统）谐振器表面应力光电子学声学复合材料电子工程电介质表面能工程类语言学哲学物理
网址	https://doi.org/10.1109/imccc.2011.22
DOI	10.1109/imccc.2011.22 doi
其它	期刊：作者：Dong Chen; Jiexiong Ding; Li Du; Guangmin Liu; Jianguo He 出版日期：2011-10-01
求助人	认真的幻姬在 2024-11-24 18:43:54 发布自北京，悬赏 10 积分
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