Low energy ion assist during deposition — an effective tool for controlling thin film microstructure

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标题	Low energy ion assist during deposition — an effective tool for controlling thin film microstructure 沉积过程中的低能离子辅助——控制薄膜微观结构的有效工具相关领域微观结构材料科学薄膜离子沉积（地质）陶瓷辐照半导体航程（航空）离子镀复合材料纳米技术光电子学化学核物理学物理沉积物生物古生物学有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/s0168-583x(97)00010-4
DOI	10.1016/s0168-583x(97)00010-4 doi
其它	期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Wolfgang Ensinger 出版日期：1997-05-01
求助人	畅快山兰在 2025-01-04 11:19:42 发布自江西，悬赏 10 积分
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