A new slurry to achieve atomic-scale polishing of polycrystalline YAG - 科研通

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标题	A new slurry to achieve atomic-scale polishing of polycrystalline YAG 实现多晶YAG原子级抛光的新型浆料相关领域抛光泥浆微晶原子单位材料科学化学机械平面化比例（比率）冶金结晶学化学工程矿物学纳米技术复合材料化学物理工程类量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.162604
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.162604 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Pengfei Zhang; Guanlin Ren; Zhe Yang; Xu Zhu 出版日期：2025-02-01
求助人	张齐在 2025-02-05 14:37:53 发布自陕西，悬赏 10 积分
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