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 Bubble Behavior and Its Effect on Surface Integrity in Laser-Induced Plasma Micro-Machining Silicon Wafer 激光诱导等离子体微加工硅片中气泡行为及其对表面完整性的影响
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期刊：Journal of Manufacturing Science and Engineering-transactions of The Asme 作者：Zhen Zhang; Yi Zhang; Denghua Liu; Yanming Zhang; Jiaquan Zhao; et al 出版日期：2022-05-19 |
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