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标题
Scanning digital oil immersion lithography providing high-speed large area patterning with diffraction limited sub-micron resolution
扫描数字油浸光刻提供具有衍射受限亚微米分辨率的高速大面积图案化
相关领域
浸没式光刻 光刻胶 光刻 材料科学 平版印刷术 沉浸式（数学） 油浸 光学 抵抗 下一代光刻 极紫外光刻 光电子学 纳米技术 电子束光刻 图层（电子） 复合材料 物理 纯数学 数学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/abc31f
DOI
10.1088/1361-6439/abc31f doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Aravind Jakkinapalli; Arun Bhaskar; Sy-Bor Wen
出版日期：2020-10-20
求助人
快乐美女 在 2024-12-20 20:05:35 发布自四川，悬赏 10 积分
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