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标题
[高分] Alscn-Based Quasi-Static Multi-Degree-Of-Freedom Piezoelectric Mems Micromirror with Large Mirror Plate and High Fill Factor
基于Alscn的大镜板高填充因子准静态多自由度压电Mems微镜
相关领域
微电子机械系统 压电 光学 材料科学 学位（音乐） 因子（编程语言） 声学 物理 计算机科学 光电子学 复合材料 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.2139/ssrn.4801404
DOI
10.2139/ssrn.4801404 doi
其它 期刊：
作者：Junning Zhang; Yan Wang; Peng Chen; Tunan Lv; Hongbin Yu
出版日期：2024-01-01
求助人
kk 在 2024-12-26 16:02:30 发布自北京，悬赏 60 积分
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