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 Pull-in instability of parallel-plate electrostatic microactuators under a combined variable charge and voltage configuration 可变电荷和电压组合配置下平行板静电微致动器的拉入不稳定性
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期刊：Applied Physics Letters 作者：S. Cao; Babak Ziaie 出版日期：2008-01-07 |
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