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Effects of nitrogen flow ratio on the mechanical and anticorrosive properties of cosputtered (TiZrHfTa)Nx films
氮气流量比对共溅射(TiZrHfTa)Nx薄膜力学和防腐性能的影响
相关领域
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Tzu-Yu Ou; Li-Chun Chang; Muthaiah Annalakshmi; Jyh‐Wei Lee; Yung-I Chen 出版日期:2024-01-11 |
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