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 Flexible piezoelectric pressure sensors using oriented aluminum nitride thin films prepared on polyethylene terephthalate films 在聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜上制备的取向氮化铝薄膜柔性压电压力传感器
相关领域
材料科学
聚对苯二甲酸乙二醇酯
薄膜
复合材料
压电
氮化物
弹性模量
溅射沉积
光电子学
溅射
模数
图层（电子）
纳米技术
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| 其它 |
期刊：Journal of Applied Physics 作者：Morito Akiyama; Yukari Morofuji; Toshihiro Kamohara; Keiko Nishikubo; Masayoshi Tsubai; et al 出版日期：2006-12-01 |
| 求助人 | |
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