标题 |
3.8×3.8 mm2 Tiny Piezoelectric Resonant MEMS Scanner Using Fork-Shaped and Ring-Shaped Actuators
采用叉形和环形致动器的3.8 × 3.8 mm2微型压电谐振MEMS扫描仪
相关领域
扫描仪
音叉
微电子机械系统
执行机构
戒指(化学)
材料科学
物理
光电子学
电气工程
声学
光学
工程类
振动
化学
有机化学
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DOI | |
其它 |
期刊:2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者:Yuki Okamoto; Sucheta Gorwadkar; Yusuke Takei; Hironao Okada 出版日期:2024-02-23 |
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