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Quantification of line-edge roughness of photoresists. I. A comparison between off-line and on-line analysis of top-down scanning electron microscopy images
光致抗蚀剂线边缘粗糙度的量化。爱达荷(Idaho的缩写)自上而下扫描电镜图像离线与在线分析的比较
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直线(几何图形) 放大倍数 光学 GSM演进的增强数据速率 平滑的 高斯滤波器 抵抗 噪音(视频) 材料科学 边缘检测 滤波器(信号处理) 像素 图像处理 计算机科学 物理 人工智能 计算机视觉 图像(数学) 数学 纳米技术 几何学 图层(电子)
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DOI
10.1116/1.1570845 doi
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小花 在 2024-05-26 22:38:43 发布自陕西,悬赏 10 积分
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