All-optical accelerometer based on micromachined silicon wafer

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标题	All-optical accelerometer based on micromachined silicon wafer 基于微机械硅片的全光加速度计相关领域加速度计材料科学干涉测量薄脆饼深反应离子刻蚀微电子机械系统光纤光电子学表面微加工光学加速度蚀刻（微加工）反应离子刻蚀计算机科学物理纳米技术制作病理操作系统经典力学医学替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2505715
DOI	10.1117/12.2505715 doi
其它	期刊：作者：Fuyin Wang; Shuidong Xiong; Zhengzheng Shao; Qiong Yao; Qingkai Hou; et al 出版日期：2018-12-12
求助人	孙哈哈在 2024-08-13 20:45:23 发布自黑龙江，悬赏 20 积分
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