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标题
In Situ Control of Oxygen Vacancies in TaOx Thin Films via Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Resistive Switching Memory Applications
通过等离子体增强原子层沉积原位控制TaOx薄膜中的氧空位，用于阻变存储器应用
相关领域
材料科学 原子层沉积 X射线光电子能谱 氢 分析化学（期刊） 氧气 化学计量学 电阻随机存取存储器 薄膜 纳米技术 化学工程 电极 化学 物理化学 有机化学 工程类 色谱法
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.7b00778
DOI
10.1021/acsami.7b00778 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Konstantin Egorov; Dmitry S. Kuzmichev; P. S. Chizhov; Yu. Yu. Lebedinskiǐ; Cheol Seong Hwang; et al
出版日期：2017-04-06
求助人
哈哈哈哈hug 在 2024-09-04 15:49:13 发布自福建，悬赏 10 积分
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