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标题
Thermal simulation of micro hotplate for multiple MEMS gas sensors
多MEMS气体传感器微热板的热模拟
相关领域
化学 微电子机械系统 热的 纳米技术 热力学 物理 材料科学
网址
https://doi.org/10.1016/j.cjac.2021.11.001
DOI
10.1016/j.cjac.2021.11.001 doi
其它 期刊：Chinese Journal of Analytical Chemistry
作者：Guang Yang; Zheng Zhang; Yanlin Zhang; Yuanyuan Luo; Xuan Xiao; et al
出版日期：2022-01-01
求助人
Hong 在 2023-12-26 16:51:37 发布自广东，悬赏 10 积分
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